概要
International Test Solutions（ITS）社は半導体製造工程に用いるクリーニング材のリーディング・グローバル・サプライヤーとして、パラメトリックテスト及びウエハテスト用のアドバンストプローブカードに使用されるクリーニングシート（PCC)、パッケージテスト用のソケットに使用されるクリーニングチップ(TCC)、半導体製造の前工程と後工程における装置のチャックに使用されるクリーニングウェハ(CCW)を提供しております。
チャック用クリーニングウェハ（CCW）
チャック用クリーニングウェハ（CCW）は、プロセスチャンバーを開けることなく、製造装置の真空ウェーハと静電チャックのクリーニングを可能にします。
取り扱い部署名
TSI営業部
TEL: 03-5200-4611